תנור PECVD

1. סוג: מערכת PECVD Dual Zone מסוג Slider מסוג 1200 מעלות
2. מספר שלב: חד פאזי
3. צמד תרמי: סוג K
4.דגם:TOB-DSP-1200 תואר -PECVD
5.MOQ:1 סט

שלח החקירה

שוחח עכשיו

הצגת המוצר

מערכת PECVD Dual Zone מסוג Slider 1200 מעלות

מִפרָט

דֶגֶם	תואר TOB-DSP-1200 -PECVD-I	תואר TOB-DSP-1200 -PECVD-II		תואר TOB-DSP-1200 -PECVD-III	תואר TOB-DSP-1200 -PECVD-IV
כּוֹחַ	3KW	3KW		4KW	4KW
גודל צינור תנור (מ"מ)	קוטר 60(OD) X1800mm	קוטר 80(OD) X1800mm		קוטר 100(OD) X1800mm	קוטר 120(OD) X1800mm
מֵמַד	1800X410X610	1800X410X610		1800X460X660	1800X460X660
מתח אספקת החשמל	220V
מספר שלב	שלב בודד
מצב שליטה	בקרת טמפרטורה של יודיאן 30 מקטעים יכולים להשתמש רק בוויסות טמפרטורת PID. בקרת טמפרטורה FP93 (מיפן) (החלפת מכשירים מיובאים, בתוספת תשלום) ניתן לחלק את בקרת הטמפרטורה של תוכנית 1,40 חלקים לתוכנית קבוצתית של 4,2,1, אם התוכנית מחולקת לארבע קבוצות, כל מקטע תוכנית 10, בקרת PID 2,6 קבוצתית, טמפרטורה נמוכה, בינונית וגבוהה יכול כל אחד עם סט של PID, כך שכל מקטע מסוגל לשלוט בטמפרטורה מדויקת מאוד.
מצב בקרת טמפרטורה	PID אינטליגנטי
הגנה מפני שחיקה ותצוגה	כן
הגנה מפני טמפרטורת יתר	כן
הגנה מפני זרם יתר	כן
דיוק שליטה	+/- 1 תואר
הדק	טריגר להסטת שלב
SCR	106 / 16E גרמניה Simon Kang
הטמפרטורה המקסימלית של אזור הטמפרטורה של 1.2	1200 מעלות
אזור הטמפרטורה של 1.2 טמפרטורה מדורגת	1150 מעלות
קצב חימום	פחות או שווה ל-30 מעלות/דקה (זמין על פי בקשה לשינוי)
קצב חימום מומלץ	פחות או שווה ל-15 מעלות/דקה
סוג צמד תרמי	סוג K
אורך חימום אזורי טמפרטורה של 1.2	205 מ"מ
טמפרטורת פני השטח מסביב	פחות או שווה ל-45 מעלות
כוח RF פלזמה	טווח תפוקת הספק		0-500W
	כוח מוחזר מרבי		10W
	תדר האות		13.56MHZ ± 0.005%
	רַעַשׁ		<30 dB
	קירור אוויר		שיטת קירור
	כוח קלט		208-240V 50 / 60HZ
פרמטרים עיקריים של מערכת אספקת GX	טווח סטנדרטי		בקר זרימת פרוטון 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM (אתה יכול לבחור כל קנה מידה)
	דיוק		± 1.5%
	ירידה בלחץ		<0.01MPa
	הֲדִירוּת		± 0.2% F.S
	מקסימום לחץ הפעלה		3MP
מערכת פליטה VS-0.1	ספק כוח		220V / 380V 380W
	קצב שאיבה		2L / S
	מד ואקום התנגדות		ZDR-I
	טווח מדידת ואקום		0.1-10 5 Pa
	משאבת ואקום		VRD-8
	צינור גלי		KF25X1000 מ"מ
	שואב אבק		10 -1Pa