תנור CVD למיטה נוזלית

דגם:TOB-1200-LTS-FB
TOB-1200-LTS-FB הוא תנור CVD עם מיטה נוזלית להנחת פני אבקה. גז נכנס בתחתית צינור הקוורץ ועובר דרך צלחת קוורץ נקבובית, מרחף את האבקה בתוך האזור המחומם של 200 מ"מ. 1200 מעלות תוך פחות משעה, 1150 מעלות רציף.

שלח החקירה

שוחח עכשיו

הצגת המוצר

Xiamen TOB New Energy Technology Co., Ltd היא אחת מהיצרניות והספקיות האמינות ביותר של תנור cvd למיטה נוזלית בסין. ברוכים הבאים לקנות תנור cvd מיטה נוזלית באיכות גבוהה במחיר תחרותי מהמפעל שלנו. אם יש לך שאלה לגבי שיתוף פעולה, אנא אל תהסס לשלוח לנו דוא"ל.

תנור CVD למיטה נוזלית

מִפרָט

סקירת מוצר

ה-TOB-1200-LTS-FB הוא תנור CVD עם מיטה נוזלית שנבנה עבור ניסויים בתצהיר משטח אבקה. צינור קוורץ בטוהר גבוה נושא צלחת קוורץ נקבובית בחלקו התחתון; האבקה יושבת על הצלחת הזו, גז מוזן מתחתית הצינור, והזרימה כלפי מעלה דרך הצלחת מרימה את החלקיקים כך שהם צפים בתוך האזור המחומם בזמן שקיעה מתרחשת.

התנור מגיע ל-1200 מעלות תוך פחות משעה ומחזיק 1150 מעלות ברציפות, עם אזור חימום של 200 מ"מ ואזור טמפרטורה קבוע של 100 מ"מ. הצינור זמין ב-Φ25 מ"מ או Φ50 מ"מ עם אורך של 600 מ"מ, והצלחת הנקבוביה עשויה לגודל הנקבוביות שהאבקה שלך צריכה. מעטפת דו שכבתית עם קירור אוויר, גוף תנור מפוצל להחלפת צינורות, מגן צינור קוורץ ושסתום שחרור לחץ מכני כולם סטנדרטיים.

מאפיינים הנדסיים מרכזיים של TOB-1200-LTS-FB

בנוי ייעודי להנחת אבקה:לוח הקוורץ הנקבובי וכניסת הגז התחתונה קיימים כך שחלקיקים תלויים באזור המחומם, ולא רק ממוקמים בו.

מעטפת דו-שכבתית עם קירור אוויר:העור החיצוני נשאר קריר יותר מתנור בעל דופן אחת באותה טמפרטורת תא.

גוף תנור מפוצל שניתן לפתוח:הגוף נפתח כך שניתן להחליף את צינור הקוורץ מבלי לפרק את התנור.

מגן צינור קוורץ:מגן סביב הצינור מונע פציעה אם הקוורץ נשבר תחת ואקום או הלם תרמי.

שסתום שחרור לחץ בטיחותי מכני:מגן מפני לחץ יתר אם לוחית מסנן הקוורץ הנקבוביות נחסמת.

תא אלומינה עם ציפוי בטמפרטורה גבוהה:בידוד סיבי אלומינה בטוהר גבוה עם ציפוי אלומינה בטמפרטורה גבוהה מיובאת ארה"ב על פני החדר, ליעילות חימום גבוהה יותר וחיי תא ארוכים יותר.

גופי חימום מסגסוגת HRE:ניתן להגיע ל-1200 מעלות תוך פחות משעה, רציף של 1150 מעלות, דיוק של ±1 מעלות בצמד תרמי מסוג K.

מכלול איטום נירוסטה:מכלול אוגן טבעות סיליקון כפול כסטנדרט, עם ערכות משאבה אופציונליות עד 5 × 10⁻¹ Pa (מכני) או 5 × 10⁻³ Pa (טורבו).

מפרט מלא

1. גוף תנור ומפרט תרמי

פָּרָמֶטֶר	מִפרָט
כוח ציוד	110V 1.2KW
חומר קאמרי	חומר סיבי אלומינה בטוהר גבוה
גוף חימום	חוט סגסוגת HRE בטמפרטורה גבוהה
טמפרטורה מקסימלית	1200 מעלות (בתוך פחות משעה)
טמפרטורה רציפה	1150 מעלות (רציף)
דיוק טמפרטורה	מעלה ±1
צמד תרמי	צמד תרמי מסוג K
קצב חימום מקסימלי	פחות או שווה ל-20 מעלות/דקה
גודל החדר	80 מ"מ × 200 מ"מ
אורך אזור החימום	200mm
אורך אזור בטמפרטורה קבועה	100mm

2. צינור קוורץ וצלחת נקבובית

פָּרָמֶטֶר	מִפרָט
גודל צינור	Φ25 מ"מ או 50 מ"מ × 600 מ"מ
חומר צינור	צינור קוורץ בטוהר גבוה במיוחד
גודל נקבוביות של צלחת קוורץ נקבובי	4-550 מיקרומטר, מפרטים מרובים זמינים וניתנים להתאמה אישית

3. מערכת ואקום ואיטום

פָּרִיט	מִפרָט
מערכת איטום	תקן: סט אחד של מכלול אוגן איטום מפלדת אל חלד כפול סיליקון O-ring, עם שסתום בטיחות מכני להורדת לחץ ומגן צינור קוורץ
ואקום, סט משאבות מכאניות	5 × 10⁻¹ Pa (אופציונלי)
סט ואקום, משאבת טורבו	5 × 10⁻³ Pa (אופציונלי)

4. מידות, משקל ואחריות

פָּרִיט	מִפרָט
מידות חיצוניות	510 מ"מ × 430 מ"מ × 1000 מ"מ
משקל נטו	בערך 35 ק"ג
אַחֲרָיוּת	אחריות לשנה, תמיכה טכנית לכל החיים

5. חומרים מתכלים ואי הכללות באחריות

פָּרִיט	פְּרָט
חומרים מתכלים אינם כלולים	גוף חימום, צמד תרמי, כור היתוך לדוגמה וחלקים מתכלים דומים אינם כלולים
גזים מאכלים וחומציים	נזק שנגרם משימוש בגזים קורוזיביים וגזים חומציים אינו מכוסה באחריות

מערכת בקרה

הבקר פועל על מערכת הפעלה משובצת עם מסך מגע בצבע אמיתי בגודל 7 אינץ'. ארבע פונקציות חשובות לעבודת CVD אבקת ניתנת לחזרה:

פוּנקצִיָה	פְּרָט
עקומות טמפרטורה מאוחסנות	ניתן לאחסן מראש 15 עקומות טמפרטורה, כך שלא צריך להגדיר מחדש תהליך ניסוי שונה מאפס
מערכת הפעלה משובצת	ממשק גרפי סינית/אנגלית שניתן להחלפה, קלט מסך מגע בצבע אמיתי בגודל 7 אינץ', מצב דיאלוג חכם בין אדם למכונה
תיקון טמפרטורה לא ליניארי	תיקון טמפרטורת מדגם לא ליניארי, כדי להתאים את הערך המוצג לטמפרטורת המדגם הנמדדת
התחלה מתוכננת	זמין כפונקציה אופציונלית, כך שניתן להגדיר ריצה להתחיל בשעה שנבחרה
הגנת מערכת	אזעקת טמפרטורת יתר, אינדיקציה לשבירה של צמד תרמי והגנה מפני דליפה

צילומי המסך למטה עוקבים אחר סדר השורות שלמעלה: ספריית העקומות המאוחסנות, עורך העקומות, הממשק הניתן להחלפה, תיקון לא ליניארי, התחלה מתוזמנת ושתי אזעקות ההגנה.

TOB-1200-LTS-FB fluidized bed CVD furnace with vertical quartz tube and split furnace body